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美荷两国曾同时发声对中国独立研发的光刻机技术给予了强烈批评

2026-03-02  

  2024年9月6日,荷兰官方在海牙发公告,9月7日起就把先进半导体制造设备的范围拉大。重点锁定了几款深紫外浸没式光刻机,比如NXT:1970i和1980i型号,以后出口到特定地方必须先拿荷兰国家授权。

  以前这些设备的许可部分在美国手里,现在荷兰自己接过来统一管,官方说这是为了让政策更协调。企业得提前申请,政府逐个案子审,这套做法直接影响了供应链的流动。

  2024年12月2日,美国商务部发布新规,进一步收紧半导体制造设备的出口控制。新加了24类设备管制清单,里面包括光刻、刻蚀、沉积等关键工具,还把高带宽内存也纳入进来。

  这些更新针对的是先进节点芯片的生产环节,明确要限制用于军民融合的应用。华盛顿那边强调,这是为了维护国家安全,之前的2022年和2023年规则基础上又叠加一层,执行起来更细更严。

  差不多同一段时间,12月首席执行官在接受荷兰媒体采访时直接表态。他说因为欧盟光刻机出口受限,中国芯片制造能力会落后西方10到15年。他认为中国现在的进展主要靠对现有设备的调整和优化,缺少原创核心技术。

  这话一出,和美荷两国的管制动作连成一片,就形成了对中方独立研发光刻机技术的明确否定。富凯的观点在行业圈里传得很快,大家都把这看成西方对华半导体政策的又一次发声。

  中国企业没停下脚步。2002年上海微电子装备公司成立,早期由贺荣明带队打基础,现在已经把90纳米制程设备做到商用规模。2023年底他们宣布开发出28纳米浸没式光刻机样机,虽然离量产还有验证过程,但方向很清楚。

  中芯国际那边,用手里的深紫外设备结合多重曝光工艺,已经把纳米芯片做到量产,还直接用在华为的新处理器里。国内的光源模块和光刻胶这些配套材料,也在陆续通过性能测试,全链条的自主配套在一点点成形。

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  说到底,这些管制和批评把压力摆到台面上,但也让中国半导体产业更务实。中国市场的出口占比确实下来了,可国内相关专利申请数量在快速增加。技术追赶从来不是喊口号,靠的是工程团队日复一日的调试和迭代。

  老百姓最实在的想法是,芯片供应链得稳得住,关键装备不能总卡脖子。长远看,这场博弈会让全球产业格局慢慢调整,谁能沉下心搞研发,谁就能在下一轮占住位置。

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