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南大光电申请ArF光刻胶组合物及形成光刻图案的方法专利EL更高

2026-03-08  

  国家知识产权局信息显示,宁波南大光电材料有限公司申请一项名为“ArF光刻胶组合物及形成光刻图案的方法”的专利,公开号CN121613679A,申请日期为2025年12月。

  专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及ArF光刻胶组合物及形成光刻图案的方法,该ArF光刻胶组合物包括:ArF光刻胶树脂、光致产酸剂、淬灭剂、溶剂;所述ArF光刻胶树脂由第一树脂和第二树脂组成,所述第一树脂与第二树脂的重量比为90~97:3~10;所述第一树脂由第一酸敏单体、极性单体和内酯单体聚合而成;所述第二树脂由第二酸敏单体、极性单体和内酯单体聚合而成;所述第一酸敏单体的耐受温度高于临界值;所述第一酸敏单体的耐受温度低于临界值;所述临界值为95℃~105℃之间的数值;所述耐受温度为发生极性转变时的温度。将该ArF光刻胶组合物形成光刻图案,EL更高。

  天眼查资料显示,宁波南大光电材料有限公司,成立于2018年,位于宁波市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36733.19万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波南大光电材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目34次,专利信息150条,此外企业还拥有行政许可43个。

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