和其他的光刻机相比,这个光刻机足足有180吨重,大小和一辆双层巴士差不多,就连零部件都高达25万个。
和其他的光刻机相比,High-NAEUV的核心突破在于“高数值孔径”,简单来说,数值孔径越大,光刻机的“视力”就越好,能把电路图案刻得更精细。
往常的EUV光刻机数知孔径最大也不过只有0.33,而这一款足足有0.55,提升了大概一倍。
但你可不要小瞧它,就这么零点几的差距,就能让这款光刻机雕刻3nm甚至是2nm以下的芯片。
就好比以前需要多次曝光才能完成的复杂图案,现在一次就能搞定,不仅生产效率翻倍,芯片的性能和良率也大幅提升。
这个中缘由,想必大家都知道,毕竟美国早就对中国实施技术封锁,就连荷兰也在美国的施压下禁止对华出口光刻机。
看到这里想必有很多人会灰心,毕竟时代都在进步,你看现如今其他国家都做的这么好,中国怎么就迟迟没有消息呢?
央视选在这时高调展示它,用意可深了——既清醒承认差距,也在为国产替代吹响号角。
早期我国在这方面基础薄弱,主要依赖进口设备,很多关键技术和零部件都掌握在外国公司手里。
另一边,哈工大的团队在2025年搞出了个特别牛的光源技术,叫“激光诱导放电等离子体光源”。
这玩意儿优点可多了:能量转化效率贼高、成本还降下来了、能稳定输出13.5纳米波长的光,这就意味着它能满足生产7纳米芯片的要求!
南大光电成功开发出ArF、KrF等系列光刻胶产品,并实现规模化生产,这为光刻机的应用提供了有力支持。
还有,在光刻机的机械结构、控制系统等方面,我国科研人员也进行了改进和创新。
比如引入人工智能技术和大数据分析,创建了智能化的光刻机控制系统,提高了光刻机的性能和生产效率。
综合来看,咱们国家在光刻机这块儿确实往前迈了不少步,但跟国际上最牛的那几家比,差距还是明摆着的。
比如现在最尖端的那个High-NAEUV极紫外光刻机,咱们目前确实还造不出来。不过呢,甭管外头怎么说、怎么看,咱们自己在这条路上取得的进步,那可都是实打实的,一点不假。
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