pg电子官方近日，国产EUV光刻机的话题再次引发热议，网络上各种消息甚嚣尘上，有人喊“2025年试产”，有人吹“哈工大搞出7纳米光源”，还有人放话“上海微电子撕开封锁线”。那么，国产EUV光刻机要来了，到底是真的吗？今天，我们就来掰开揉碎了说。
在光源方面，去年哈工大成功研制出13.5纳米的极紫外光源，这一成果意义重大，相当于为光刻机装上了“心脏”。此前，这类光源完全依赖美国Cymer公司供应，如今我国能够自主研发，无疑是一大突破。今年，中国科学院上海光学精密机械研究所林楠研究员团队更是取得重大进展，他们建立了运行参数具有国际竞争力的EUV光源实验平台 ，采用固体激光驱动技术，成功开发出LPP-EUV光源。实验所得的能量转换效率最大值达到3.42%，处于国际靠前、国内领先水平，且研究人员估计理论最大转换效率可能接近6%。这一技术路线不仅绕开了美国主导的技术，更为我国自主开展EUV光刻及其关键器件与技术的研发工作提供了有力支撑。
双工件台方面，长春光电所和北京理工取得突破，让我们在这一核心部件上也摸到了门道。所谓双工件台，就是可以让光刻机在曝光的同时，进行下一片晶圆的装载和预处理，大大提高了光刻效率，是EUV光刻机的关键技术之一。
不过，最要命的光学镜头目前还没有传出重大突破的消息。ASML使用的是德国蔡司的镜头，其精度要求比造航天发动机还高，工艺极其复杂，国内暂时还没听说哪家能搞定。要知道，光学镜头直接决定了光刻的精度，是EUV光刻机不可或缺的重要部分。
制造EUV光刻机，光有核心部件可不够。EUV光刻机里有十万多个零件，需要严丝合缝地拼起来，其组装难度超乎想象。荷兰ASML能垄断全球，背后靠的是五千多家供应商攒局，从美国的光源到日本的材料，少了哪家都玩不转。
目前，上海微电子2023年底交付了28纳米浸没式光刻机，这在DUV（深紫外光刻）领域算是高端货，但距离EUV（极紫外光刻）还差着很大的距离。按照上海微电子官方规划，7纳米光刻机得等到2027年才量产，然而网上却有小道消息称2025年就要试产，其中水分不言而喻。
另外，华为被爆出在测试国产EUV原型机，但具体在哪个环节取得突破，官方一直未透露消息。从数据来看，2022年全球42%的半导体设备买主是中国，上海微电子90纳米光刻机卖了好几年，28纳米的还没完全铺开，要是EUV真的成功了，早该生产线满负荷运转了。
面对EUV光刻机技术封锁，眼下最现实的招数是用DUV光刻机玩“多次曝光”。中芯国际早些年用ASML的老款DUV机器，通过四次曝光硬是做出了7纳米芯片，虽然成本高、良率低，但好歹能解燃眉之急。上海微电子现在主攻的28纳米光刻机，也能用这法子做到14纳米。不过，这种“笨功夫”终究比不上EUV一次曝光，台积电的5纳米芯片良率可达90%，而我们用土办法可能连一半都不到。
网上还疯传“集群式光刻机”方案，说是用一堆低端机器并联干活，但这方案就像让十辆拖拉机拼成高铁，理论上行不行得通都两说，更别提实际应用了。
虽然困难重重，但不可否认，国产EUV光刻机确实在提速，光源和工件台已经取得突破，只要科研人员继续努力，逐个攻克难关，我们有理由相信，在不久的将来，国产EUV光刻机终将打破国外垄断，在全球半导体领域大放异彩。 让我们一起期待那一天的到来！
实在！可惜现在今天突破明天量产，假消息铺天盖地，就是见不到真东西。还是实实在点好！别光吹
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