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新毅东半导体取得狭缝装置和光刻系统专利提高了矩形狭缝窗口的精确度

2026-02-08  

  国家知识产权局信息显示,上海新毅东半导体科技有限公司取得一项名为“狭缝装置和光刻系统”的专利,授权公告号CN223883912U,申请日期为2025年3月。

  专利摘要显示,本实用新型涉及光刻技术领域,公开了一种狭缝装置和光刻系统,该狭缝装置包括基座和刀片组件。刀片组件包括垂直连接的第一刀片和第二刀片。刀片组件设置有两组,每组刀片组件沿第一方向和第二方向可移动地连接于基座;两个第一刀片和两个第二刀片围设形成大小可调的矩形狭缝窗口,第一方向和第二方向呈夹角设置。本实用新型通过在基座上设置两组刀片组件,每组刀片组件均包括垂直连接的第一刀片和第二刀片,且第一刀片和第二刀片同时移动,能够始终保证相邻两个刀片的垂直度,有利于四个刀片之间的垂直度,使得两个第一刀片和两个第二刀片围设的矩形狭缝窗口,平行度、垂直度误差更小,提高了矩形狭缝窗口的精确度。

  天眼查资料显示,上海新毅东半导体科技有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新毅东半导体科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可3个。

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