pg官方网站 电子国家知识产权局信息显示，上海赐兴微电子技术有限公司申请一项名为“一种用于光刻机晶圆检测的机械臂检测系统及方法”的专利，公开号CN121510934A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开一种用于光刻机晶圆检测的机械臂检测系统及方法，涉及半导体检测技术领域。方法通过设置明暗区，机械臂带动晶圆依次经过以实现分层检测：暗区采样目标晶圆下表面及下层晶圆上表面划痕，明区识别两者完整轮廓；结合二次暗区检测拼接图像以消除托手遮挡，通过晶圆转换处理、一致性修正及机械臂异常判定优化检测精度。系统包括机械臂本体、视觉检测模块、边缘计算模块及低角度扫描光源，协同实现高效检测。本发明通过明暗区结合及多步骤校准，提升晶圆表面划痕与轮廓检测的完整性和准确性，适用于光刻机晶圆检测场景。
天眼查资料显示，上海赐兴微电子技术有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，上海赐兴微电子技术有限公司参与招投标项目2次，专利信息3条，此外企业还拥有行政许可3个。
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