PG平台 PG电子官网最近网上疯传上海微电子攻克7nm光刻机的消息,看得人热血沸腾。但作为一个关注科技的老百姓,咱们得先冷静——这事到底是真是假?中国芯片到底走到哪一步了?我用大白话给大家捋清楚。
上海微电子官网上最先进的是90nm光刻机(相当于2004年国际水平),正在研发的28nm机器还没上市,7nm更是没影的事。
7nm芯片需要极紫外光刻机(EUV),全球只有荷兰ASML能造,这类设备压根不卖给中国。现在说的7nm突破,其实是用老设备玩出新花样——就像用普通相机多次拍照合成高清图,但和单反直出还是两码事。
中芯国际用老款光刻机,通过曝光两次的土办法,做出了等效7nm芯片(麒麟9000s)
芯片研发就像造航天发动机,需要几十年积累。咱们起步晚,但每年都在缩小差距。
看到重大突破先查三处:工信部官网、企业官微、权威媒体。别让爱国心被营销号利用。
中国芯片不需要一夜逆袭的神线%的坚持。当我们在超市能用上国产5G芯片的智能购物车,在医院见到国产CT机的精密芯片,这才是真正的突破。光刻机的长征,咱们既要抬头看路,更要脚踏实地。
中国的7纳米光刻机专利主要是上海微电子装备(集团)股份有限公司的“极紫外辐射发生装置及光刻设备”专利,以下是详细介绍: 基本信息 - 申请时间:2023年3月9日。 - 披露时间:2024年9月10日。 - 申请号:CN6.7。 - 发明团队:由王伟伟、付辉、卢嘉玺、张洪博、蔡万宠及张子辰等人员组成。 技术背景 极紫外光刻技术是制造7纳米及以下芯片的关键,在极紫外光产生过程中,会伴随带电粒子如锡碎屑等污染问题,影响光刻设备中收集器镜的使用寿命,该专利旨在解决这一关键挑战。 装置构成及原理 - 装置构成:极紫外辐射发生装置包括腔体、靶材发生器、激光发生器、收集器镜、电极板以及气控部件等。 - 工作原理:激光发生器向靶材发射激光,产生带电粒子及极紫外光。收集器镜沿光轴收集并反射极紫外光。腔体内的电极板,相邻之间形成电场,约束带电粒子并收集不同极性的带电粒子。气控部件产生氢自由基,经过电极板与带电粒子反应形成气体并排出,同时气控部件还会通入惰性气体在腔体内形成稳定流场,阻止带电粒子扩散至收集器镜,从而延长收集器镜的寿命。 意义 - 技术层面:是中国在极紫外光刻技术上的重要创新,解决了极紫外光刻设备中的关键技术难题,为7纳米及以下芯片制造的关键技术突破奠定了基础。 - 产业层面:有望打破国外技术垄断,减少对进口高端光刻机的依赖,提高国产芯片的自主供应能力,还能带动光刻胶、光学镜片、精密机械加工等相关行业的发展,加速我国半导体产业生态系统构建。 - 国际竞争层面:缩小了与国际先进水平的差距,使国内半导体企业在高端芯片制造领域具备更强的竞争力,提升我国在全球半导体产业的话语权和议价能力。
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