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突破技术壁垒!中国自主研发7nm光刻机核心技术专利

2025-04-06  

  在全球半导体产业竞争日益激烈的背景下,中国科技领域再传捷报!近日,国家知识产权局公示信息显示,中国科学院微电子研究所联合国内顶尖半导体设备企业,正式提交了**一种适用于7nm及以下制程的极紫外(EUV)光刻机光学系统及控制方法**的专利申请。这一突破标志着中国在高端光刻机自主研发领域迈出关键一步,为打破国际技术垄断、实现芯片制造自主可控注入强心剂。

  专利首次公开了基于多层膜反射镜的EUV光学模块,通过复合式光路补偿技术,有效解决了极紫外光在传输中的能量损耗和波前畸变问题,光刻分辨率可达7nm以下,良品率提升显著。

  创新性引入AI算法驱动的动态监测系统,可实时修正掩膜版与晶圆的对位误差,将套刻精度控制在0.1nm以内,媲美国际主流设备水平。

  专利中提及的高功率CO₂激光等离子体光源、碳化硅真空腔体等核心组件均实现国产化替代,摆脱对进口供应链的依赖。

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  产业链协同升级:该技术有望推动国产光刻胶、精密光学元件等配套产业加速迭代,形成完整的高端芯片制造生态链。

  缓解芯片制造瓶颈:若实现量产,将助力中芯国际、长江存储等企业突破7nm及以下先进制程产能限制,为AI芯片、5G通信等领域提供底层支撑。

  国际竞争新变量:中国在EUV光刻领域的持续突破,或将改变ASML、尼康等巨头主导的市场格局,为全球半导体产业注入多元化动力。

  此次专利申请是中国光刻机研发从‘追赶’转向‘并跑’的重要里程碑。 清华大学微电子研究所李教授指出,但需清醒认识到,从实验室成果到商业化落地仍面临工程化验证、零部件耐耗性等挑战,需要产学研用深度协同攻关。

  据工信部最新规划,十四五期间将设立超百亿元专项基金,重点支持光刻机等硬科技领域。随着专利技术逐步落地,中国有望在2025年前完成首台国产7nm光刻机原型机验证,为全球半导体产业贡献中国方案。

  从28nm到7nm,每一次纳米级的跨越都凝聚着中国科研人的智慧与坚守。这场关乎国家科技命脉的攻坚战中,专利技术的突破不仅是技术宣言,更彰显了自主创新的决心。中国芯,未来可期!

  4月1日, 大连,夜间的东快路上,一台小米SU7 Ultra正以超过200千米的时速疯狂飙车,此时乘客竟说“这不算快。”“时间应该在3月31日夜间至4月1日凌晨,一辆小米SU7 Ultra在东快路上,正以超过200千米的时速疯狂飙车。

  美国总统特朗普近期频频表态,称美国政府4月2日起将对全球征收“对等关税”,并针对特定行业征收额外关税。此举引发广泛批评。特朗普表示,目前关税计划已经制定。白宫新闻秘书莱维特称,该计划不会包含任何豁免条款。

  4月4日上午,韩国就尹锡悦弹劾案作出宣判,8名宪法法官一致认为,尹锡悦严重违反了宪法和法律,宣布尹锡悦被罢免。4月4日,在韩国首都首尔,韩国代理院长文炯培宣读尹锡悦弹劾案裁决书。

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  济南一女子被前男友杀害,为方便二次解剖、寻找证据,法院审判期间尸体一直存放在殡仪馆。4年后凶手被执行死刑,化遗体却需要缴纳近40万保存费。(剪辑:祁泉)

  睡觉也有最佳“黄金时间”不是11点 也不是12点(人民日报)#睡觉 #熬夜#肥胖

  由于美国所谓对等关税,纽约股市4日连续第二天暴跌,4月4日国际金价、油价均下跌。

  当地时间4月2日,美国总统特朗普在白宫宣布对贸易伙伴征收所谓的“对等关税”措施。其中,不断讨好美国“倚美谋独”的当局被狠狠打脸——台湾地区被加征32%关税。靴子落地,台湾民众怒斥:台积电白给了,武器白买了,结果还被美国征收32%高关税。

  法国、英国、意大利等国发声,事关美国关税政策!联合国贸发会议警告:全球贸易紧张局势升级

  当地时间4月4日,法国、英国、意大利、澳大利亚、新加坡、南非和玻利维亚等国均表示,美国此举破坏全球贸易体系,并采取相应措施应对。

  在阅读此文之前,麻烦您点击一下“关注”,既方便您进行讨论和分享,又能给您带来不一样的参与感,感谢您的支持文、编辑小娄2022年12月29日这天,消失在大众视野许久的央视主持人朱军在社交平台上更新了一则内容。

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