在全球半导体产业竞争日益激烈的背景下,中国科技领域再传捷报!近日,国家知识产权局公示信息显示,中国科学院微电子研究所联合国内顶尖半导体设备企业,正式提交了**一种适用于7nm及以下制程的极紫外(EUV)光刻机光学系统及控制方法**的专利申请。这一突破标志着中国在高端光刻机自主研发领域迈出关键一步,为打破国际技术垄断、实现芯片制造自主可控注入强心剂。
专利首次公开了基于多层膜反射镜的EUV光学模块,通过复合式光路补偿技术,有效解决了极紫外光在传输中的能量损耗和波前畸变问题,光刻分辨率可达7nm以下,良品率提升显著。
创新性引入AI算法驱动的动态监测系统,可实时修正掩膜版与晶圆的对位误差,将套刻精度控制在0.1nm以内,媲美国际主流设备水平。
专利中提及的高功率CO₂激光等离子体光源、碳化硅真空腔体等核心组件均实现国产化替代,摆脱对进口供应链的依赖。
产业链协同升级:该技术有望推动国产光刻胶、精密光学元件等配套产业加速迭代,形成完整的高端芯片制造生态链。
缓解芯片制造瓶颈:若实现量产,将助力中芯国际、长江存储等企业突破7nm及以下先进制程产能限制,为AI芯片、5G通信等领域提供底层支撑。
国际竞争新变量:中国在EUV光刻领域的持续突破,或将改变ASML、尼康等巨头主导的市场格局,为全球半导体产业注入多元化动力。
此次专利申请是中国光刻机研发从‘追赶’转向‘并跑’的重要里程碑。 清华大学微电子研究所李教授指出,但需清醒认识到,从实验室成果到商业化落地仍面临工程化验证、零部件耐耗性等挑战,需要产学研用深度协同攻关。
据工信部最新规划,十四五期间将设立超百亿元专项基金,重点支持光刻机等硬科技领域。随着专利技术逐步落地,中国有望在2025年前完成首台国产7nm光刻机原型机验证,为全球半导体产业贡献中国方案。
从28nm到7nm,每一次纳米级的跨越都凝聚着中国科研人的智慧与坚守。这场关乎国家科技命脉的攻坚战中,专利技术的突破不仅是技术宣言,更彰显了自主创新的决心。中国芯,未来可期!
4月1日, 大连,夜间的东快路上,一台小米SU7 Ultra正以超过200千米的时速疯狂飙车,此时乘客竟说“这不算快。”“时间应该在3月31日夜间至4月1日凌晨,一辆小米SU7 Ultra在东快路上,正以超过200千米的时速疯狂飙车。
美国总统特朗普近期频频表态,称美国政府4月2日起将对全球征收“对等关税”,并针对特定行业征收额外关税。此举引发广泛批评。特朗普表示,目前关税计划已经制定。白宫新闻秘书莱维特称,该计划不会包含任何豁免条款。
4月4日上午,韩国就尹锡悦弹劾案作出宣判,8名宪法法官一致认为,尹锡悦严重违反了宪法和法律,宣布尹锡悦被罢免。4月4日,在韩国首都首尔,韩国代理院长文炯培宣读尹锡悦弹劾案裁决书。
济南一女子被前男友杀害,为方便二次解剖、寻找证据,法院审判期间尸体一直存放在殡仪馆。4年后凶手被执行死刑,化遗体却需要缴纳近40万保存费。(剪辑:祁泉)
睡觉也有最佳“黄金时间”不是11点 也不是12点(人民日报)#睡觉 #熬夜#肥胖
由于美国所谓对等关税,纽约股市4日连续第二天暴跌,4月4日国际金价、油价均下跌。
当地时间4月2日,美国总统特朗普在白宫宣布对贸易伙伴征收所谓的“对等关税”措施。其中,不断讨好美国“倚美谋独”的当局被狠狠打脸——台湾地区被加征32%关税。靴子落地,台湾民众怒斥:台积电白给了,武器白买了,结果还被美国征收32%高关税。
法国、英国、意大利等国发声,事关美国关税政策!联合国贸发会议警告:全球贸易紧张局势升级
当地时间4月4日,法国、英国、意大利、澳大利亚、新加坡、南非和玻利维亚等国均表示,美国此举破坏全球贸易体系,并采取相应措施应对。
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