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国产光刻机再突破!上海光刻机在国内产线上应用情况

2025-01-07  

  pg电子(中国官方网站)正因如此,光刻机被称为半导体生产线上的“王冠之珠”,而在半导体产业链中,它也是最难被攻克的环节。对于芯片制造而言,光刻机的作用无可替代,决定了芯片制造的制程工艺和精度,使得它在国产化中具有极高的重要性和挑战性。

  在芯片制造过程中,光刻机的核心技术之难可谓“关关难过”。光刻机利用深紫外(DU)或极紫外(EU)光源,将设计好的电路图案转移到硅片表面。光刻过程中,光刻胶涂在硅片表面,通过不同波长的光照射后,光刻胶会发生化学反应,将图案呈现在硅片上。

  此后,通过腐蚀和清洗等工艺,形成精细的电路。实现这一过程需要极高的光学精度、复杂的材料和严苛的温控技术。

  600系列光刻机能够实现90nm制程的量产,背后是上海微电子在技术创新方面的不断投入。它采用了等离子体光源技术和先进的数字光量测技术,这使得光刻精度和稳定性得到了显著提升。

  国产光刻机虽在技术上取得了突破,但市场份额依然微乎其微。这一现象背后是多重困境的叠加:核心零部件难以实现国产化、供应链严重依赖进口,导致国产光刻机始终无法达到国际先进水平。

  而全球市场中,光刻机行业几乎被ASML等少数巨头垄断,国产品牌的成长之路因此更加艰难,甚至让人质疑,国产光刻机是否会一直处于“跟跑”状态?

  核心部件的技术瓶颈是国产光刻机难以打破的壁垒之一。光刻机的关键部件,如光源、光学镜片和控制芯片,制造要求极高,而这些技术目前掌握在少数国家和企业手中。

  从技术上看,光刻机的升级方向在于进一步提高分辨率和精度,实现更先进的制程。虽然国产光刻机在5nm、3nm等领域尚有较大差距,但技术革新和国际合作可以帮助国产光刻机缩小差距。

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