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日本Rapidus 2纳米芯片量产真能如此顺利?突破三难关才能创奇迹

2025-04-04  

  日本创业公司半导体公司Rapidus近期似乎有很大进展,《Nikkei Asia》报道该公司将于今年4月试产,并计划在6月就可产出2纳米的芯片产品原型。

  尽管已有越来越多媒体探讨Rapidus会不会成功,不过,笔者认为,这件事有需要更深入的探究与说明,厘清某些疑惑之处,以对Rapidus的未来可能发展有更多理解。

  Rapidus需留意实验室成果的局限性。IBM沃森研究中心 (Thomas J. Watson Research Center) 是一家享负盛名的研究单位,以往叱咤风云,有着极为辉煌的历史,不管是在物理、数学、半导体、程序语言、超级计算机等等领域,都为人类社会带来卓越且巨大的贡献。在半导体领域,IBM原本有自己的芯片厂,后来于2014年10月卖给格芯 (GlobalFoundries),但IBM保留了半导体领域的研究,且走在如今时代的科技尖端。

  Rapidus必须留意是,在最新的“环绕闸极 (gate-all-around;GAA) 半导体制程架构”上,IBM目前仅是实验室成果。虽然,Rapidus另外还跟具有半导体深厚实力的比利时imec结盟,但imec依然是研究机构,二者都较无量产的实质经验。

  依笔者先前在工研院的研发经验显示,通常实验室成果有其局限性,距离可实际量产尚有一段不短的路要走。因而,IBM与imec技术能否可确实实现商业化,需后续进一步观察,而这应该也是Rapidus最大的挑战之一。

  虽然已有领导厂商投入GAA尖端制程,但目前的半导体主流依然是鳍式场效晶体管 (Fin Field-Effect Transistor;FinFET) 架构。除了台积电、三星与Intel三家半导体大厂外,台湾联华电子、美国格芯、中国中芯半导体等都是将FinFET制程架构运用的极为成熟且极有经验的公司,这是它们重要的营收来源,可依此支持这些企业正常运转。其中,联电与格芯有能力量产14纳米,而中芯更有能力量产7纳米芯片。但是,因考虑到庞大的资本支出、高度的研发风险、所需的优秀科技人才以及其他复杂因素,有的公司并不敢贸然投入、有的公司则是受到限制而无法投入GAA制程架构。

  它是下一代半导体技术,技术相对于FinFET能够提供更好的性能和能效表现,因而极可能成为未来的主流,特别是在人工智能 (artificial intelligence;AI) 和高性能计算 (high performance puting;HPC) 领域。

  因台积电已在日本设立一家采成熟制程的制造厂,若要取得政府的高额补助,只有投入尖端制程才更有机会。

  在资源极为有限的状况下,投入未来主流的GAA技术,不仅可节省在旧技术上的研发资源,并且能将焦点集中在最前端技术上。

  虽然Rapidus跳过FinFET制程架构,是一种策略选择,也是个见仁见智的问题;但这决策却正好闪避了近期以来成熟制程过度激烈竞争的问题,而这问题日后只会更加严峻,不易缓解。然而,若不计入台积电,目前日本的半导体制程技术暂时停留在40纳米,一下子要跳跃至2纳米做出产品原型,有可能做到吗?

  笔者认为,虽然不是完全没有任何成功机会,但这对成立仅仅2.5年的Rapidus来说,是一项极大的考验。因而,倘若Rapidus线月就产出符合高品质且高性能的芯片产品原型,可说在那仅有的微小机率里,Rapidus正在创造第一步奇迹。

  2纳米节点须采用全新的GAA制程架构,与FinFET架构相比较,其技术架构更为复杂,在制造过程可能面临精细度不容易掌握、材料缺陷、散热不易、漏电流改善不佳、材料与其界面等问题,因而研发风险更高,所需资金更多。在如此细微的尺度里要解决这些难题,其困难度极高,并非想象中容易。

  由上述说明可知,若仅以三星电子为例,它投入了无数资金、庞大资源与优秀人才,即便深耕GAA技术多年,依然深受良率不佳所困扰,导致其刚推出的年度旗舰新机Galaxy S25系列处理器,首度全部采用高通最新的骁龙8 Elite芯片,而这些高通芯片全部皆交由台积电生产供应。足见GAA困难度之高,不容易在短期内有效攻克。

  在生产芯片过程需要相当多的贵重与精准设备,其中的关键之一是EUV曝光机。当制程技术进入到7纳米以下时,往往需要采用EUV曝光机方能提高运营性能。EUV制程的核心是激光光学系统 (laser optic system),其主要的组成部件由ASML、蔡司 (ZEISS)、TRUMPF和Fraunhofer IOF共同研发,在经历重重的艰难挑战后,它最终被开发出来,并能产生光波波长为13.5纳米的EUV,有了EUV技术就可以在指甲大小的表面上制作出超过一百亿个晶体管。

  事实上,这过程极为复杂。除了要收集到足以曝光微小线路的微弱EUV外,曝光过程也需要极高的精准度和稳定性。此外,虽然其变化极为细微,但EUV产生的热气会微微改变反射镜尺寸而失准。尽管这些对位工作可经由设备里的机制来自动校准,但为了确保系统正常与稳定运转、避免不确定因素的影响,工程师需在出现异时常快速进行处理。

  尽管ASML会培训客户如何使用设备,提供一周7天、每天24小时的支持服务替客户解决疑难问题,同时安排工程师定期到客户的工厂检查机台设备。但依笔者以往操作其他贵重仪器与设备的经验显示,除了正规的完整系统性训练外,这也相当依赖个别工程师的内隐知识与细腻经验,它需要时间去感知揣摩与调整,以提高设备使用性能,并逐步降低运营成本。

  半导体整个系列制程极其复杂,EUV曝光机仅是其中一个重要环节,这说明若想要达到符合标准的高良率,是相当大的挑战。连半导体三大厂要突破与量产2纳米技术,都得面对高度的困难与挑战,Rapidus当然也不会例外。

  受限于EUV机台,规模有限,无法同时服务太多客户,Rapidus主要以某些小型的利基市场 (niche market) 为目标。为了可顺利经营这些利基市场,Richard接受《Forbes》访问指出:“Rapidus正在改变半导体的设计和生产方式,为当前制造商提供替代方案,并颠覆传统的制造方法”。

  严格地说,台积电等三大厂都已发展出自己的先进封装技术,例如台积电的CoWoS (

  Chip-on-Wafer-on-Substrate),而不单只是做芯片制造。另一方面,混合键合技术也已被台积电与Intel应用在其先进封装技术之中。因而,Rapidus在先进封装领域较不容易因此而产生优势。

  Rapidus通过把制造和封装集中在“同一屋檐下”,将缩短周期时间。这是不是表示,Rapidus正应对单片芯片处理方式而会发展出自己的不同集成制程?有待后续观察。

  因Rapidus尚未正式量产,因而较无法验证其技术可行性到什么程度,待日后将会更加明朗。不过,由上述说明可知,Rapidus所谓的量产并非一般大众认知的大量生产,而是选择某些特定利基市场的多样化、小规模量产模式,因而其经营模式与其他三大厂商并不相同。

  Rapidus能否如巨石落水,掀起大浪,关键在于:高端领导团队必须确保Rapidus-IBM-imec跨国合作模式的先进制程技术,能生产出符合客户期待的高品质高性能芯片。而Rapidus细腻的小规模、多样化量产模式,或许是后续观察它能否成功的重要焦点之一,若此模式可顺利运转,那它可说是创造了第三步奇迹。

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